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電子工業

        

 

氣體分類

應用場合及用途

氮氣

通常用于冷卻及清除程序,氮氣在電子及半導體產品的生產中不可或缺。

氬氣

具有高穩定性及極低的反應性,氬氣是太陽能及半導體薄片生產中的關鍵氣體。

氫氣

許多電子制造商均使用氫氣,氫氣可作為薄膜沉積的載運氣體以及爐處理中的還原劑。

二氧化碳

高純度二氧化碳有助于清洗應用中超小顆粒的清除,在關鍵半導體層的干燥中,可以防止光刻膠的崩潰。

氦氣

氦氣在平板顯示器市場起著重要作用,可用作冷卻劑,同時也是半導體設備制造所需受控環境中的重要組成部分。


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